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莱芜刷片机厂家供应 诚信服务「海源供应」
发布时间:2019/11/11

莱芜刷片机厂家供应, 刷片清洗机的制作方法[0041]所述的光源,位于硅片直径一侧表面O?0.5mm高度的位置,光源的光传到硅片直径另一侧的光量接收单元,光量接收单元分析光量数据传给片刷高度控制单元,驱动控制单元根据片刷高度控制单元的数据控制片刷的相对于硅片的高度。 [0042]具体的来说,光源及光量接收单元工作状态是,刷头在硅片上方且刷毛与硅片接触,硅片在载台上旋转,使得刷毛对硅片进行清洗。光源位于硅片的一侧,光量接收单元位于硅片的另一侧,光源与光量接收单元位于硅片两侧同一水平高度的位置。调整好光路,使光源的光通过刷毛,被另一侧的光接收单元接收。当刷毛较新的时候,如图1所示,刷毛末端较硬直,与硅片接触良好,则刷毛与硅片之间的空隙较少,光接收单元接收泄露过来的光也较少,刷片机。随着刷毛使用时间的延长,刷毛末端开始磨损变软卷曲,刷毛与硅片之间的间隙增大,如图2所示,光接收单元接收泄露过来的光也增多。光量分析单元通过对光接收单元接收光量的数据分析,如图3及图4所示,将数据传给片刷高度控制单元,通过驱动单元对片刷的高度进行实时补偿调整,将片刷高度调低下压,确保片刷与硅片之间始终保持良好接触,保证较好的清洗效果。

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刷片机蓬莱市海源机械加工厂位于美丽的人间仙境一蓬莱,这里是我国海参育苗养殖发源地之一,也是海水锅炉设计生产的主要产地,我厂是一家以海水养殖育苗设备生产为主体的专业设备生产企业,拥有多项产品专利技术,并拥有专业的设计研发和制造技术人才,我厂品牌"博爱德"自创建至今,经过多次的技术创新和改进,取得了很大的突破,让用户得到了比较大的实惠和效益,受到了用户的***好评和赞誉。

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刷片机电气元件制品的制造及其应用技术[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种刷片清洗机,保证刷毛在整个使用寿命周期内与硅片之间良好接触,始终拥有良好的清洗效果,并且解决硅片边缘无法清洗到的问题。 [0005]为解决上述问题,本发明所述的刷片清洗机,用于清洗硅片,其具有多个清洗单元,每个清洗单元包含: [0006]多个片刷,包含正面刷、背面刷; [0007]多个喷嘴,包含正面高压水洗喷嘴、正面喷淋水洗喷嘴、边缘高压水洗喷嘴; [0008]正面刷背面刷分别位于硅片两面且与硅片接触,硅片旋转使片刷与硅片之间产生相对运动,从而片刷对硅片表面产生清洁作用; [0009]硅片翻转装置,用于翻转硅片,使硅片的正反面互换; [00?0] 光源,发出可见光; [0011 ]光接收单元,与光源分别位于娃片直径方向的两侧,光接收单元接收光源发出的可见光; [0012]光量分析单元,接收光接收单元的光量信息; [0013]片刷高度分析单元,通过分析光量分析单元的光量信息数据,产生相应的控制数据; [0014]驱动步进单元,接收片刷高度分析单元的控制数据,驱动片刷的高度,从而保证片刷与硅片的接触状态。

莱芜刷片机厂家供应, 目前市场上现有的刷片机一般分为4个工位,前3个工位是刷片功能,最后一个为甩干工位,前三个工位刷片方式采用PVA毛刷头,毛刷头自转,晶片放置于下方晶片载台上,毛刷头下压与晶片接触,马达带动毛刷头左右移动,从内向外进行刷片,去除晶片表面的颗粒,此种方法对于晶片表面大颗粒能起到较好效果,但对于晶片上微小的颗粒采用这种毛刷头刷片的方式则效果很差,导致烘干后的晶片上依然存在较多微小的杂质,质量较差。 针对上述现有技术存在的不足,本实用新型提供了一种刷片机晶片刷洗装置,通过增加兆声装置,让水流产生振动进而去除晶片表面微小的颗粒,使得晶片纯度更高,质量好,解决了现有技术中存在的问题。 本实用新型是通过以下技术方案来实现的:一种刷片机晶片刷洗装置,包括机架、洗刷池和晶片载台,洗刷池位于机架下方,晶片载台位于洗刷池内,其特征在于还包括兆声容器、兆声振板、兆声振板发生器、连接板和进水管,兆声振板设置在兆声容器中,兆声容器通过连接板与机架连接,兆声振板发生器穿过兆声容器上方与兆声振板连接,进水管穿过兆声容器与兆声振板连接。

刷片机本厂刷片机分为10个品种,生产操作简单省力 ,工作效率圾高 .可实现2000——3600片/每小时, 在高效率生产的情况下,保证波纹板一次性刷净率在98%以上(在轮剧毛无严重磨损的情况下)。使用说明:该产品禁止使用油润滑,采用水冷润滑方式,水槽内不得缺水。

莱芜刷片机厂家供应, 刷片清洗机的制作方法 文档序号:9845374 导航: X技术> ***专利>电气元件制品的制造及其应用技术 刷片清洗机的制作方法 【技术领域】 [0001]本发明涉及半导体集成电路制造领域,关于硅片的清洗,特别是指一种刷片清洗机。 【背景技术】 [0002]半导体工艺过程中,很多步骤之后都要求对硅片进行清洗以保证后续工艺的正常进行。清洗硅片一般使用刷片机并结合去离子超纯水对硅片进行清洗。目前刷片机的刷片头(刷子)在刷洗硅片时,刷子与硅片的位置是相对固定的。在刷子的使用寿命后期,刷毛末端会卷曲,造成刷毛与硅片的有效接触面积减少,使得刷子的去除率降低。 [0003]另,目前刷片清洗机为避免刷毛被硅片边缘切割产生刷毛损伤,片刷移动区间去边5mm,即片刷的刷洗范围不包含硅片边缘距往圆心方向的5mm圆环区域,且相应高压及冲洗喷嘴的位置限制,导致在硅片边缘区域无法清洗到。

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